膜質、膜厚評価装置

	製品名	反射分光膜厚計
	メーカー	大塚電子
	説明文	膜厚・光学定数解析が可能な装置です。フィルムやウェーハ、光学材料などの膜厚や多層膜を非破壊・非接触で測定できます。

	製品名	微細形状測定機（段差計／膜厚計）
	メーカー	小坂研究所、ブルカー・ジャパン
	説明文	微少測定力で軟質試料面にも対応しています。ウェーハや鏡面加工部品の形状評価に適しております。

	製品名	スクラッチ試験機
	メーカー	レスカ
	説明文	マイクロスクラッチ法により膜厚が1μｍ以下の超薄膜の密着強度評価が可能な試験機ですサンプルの加熱環境下での評価やレンズ等の曲面測定が可能です

	製品名	微小硬度計
	メーカー	エリオニクス
	説明文	ダイヤモンド圧子を押し込み、薄膜の微小領域の硬さ、ヤング率など材料特性を測定します 。積層した膜の特性、耐久性を評価できます。

	製品名	蛍光X線膜厚計
	メーカー	日立ハイテクサイエンス
	説明文	メッキ膜厚計の業界標準器です。多層膜や合金膜の測定が簡単に行えます。