薄膜評価

	製品名	オージェ電子分光分析装置
	メーカー	日本電子、アルバック・ファイ
	説明文	超高真空下で個体試料に電子をあて、蛍光X船よりも浅い表面分析に用いられます。

	製品名	光電子分光装置（XPS,ESCA)
	メーカー	日本電子、アルバック・ファイ、サーモフィッシャーサイエンティフィック
	説明文	物質に光を照射し放出された電子を検出し、物質の電子の状態を分析する装置です。

	製品名	薄膜Ｘ線回折装置
	メーカー	ブルカー
	説明文	薄膜・個体の表面微量元素分析が可能です。