成膜装置

成膜装置

	製品名	スパッタ装置
	メーカー	キヤノンアネルバ・東栄科学産業

	製品名	蒸着装置
	メーカー	サンユー電子・東栄科学産業

	製品名	CVD装置
	メーカー	サムコ・オックスフォードインストゥルメンツ