成膜装置
新素材作成装置
トライボロジー
特機技術製品の納入実績
特機技術製品の納入実績
成膜装置
1996.8 トンネル接合用イオンビームスパッタ 東北大学
1999.2 複合スパッタ装置 民間企業
1999.12 全自動リフトオフ蒸着装置 民間企業
2000.6 2元蒸着装置 通信放送機構
2000.12 DC/RF対向スパッタ装置 山形大学
2001.11 6インチDCスパッタ装置 民間企業
2002.1 2元スパッター装置 JST/弘前大学
2002.12 4インチスパッター装置SPT-4STD 福島県ハイテクプラザ
2003.3 2元スパッター装置 仙台電波高専
2003.3 3元蒸着装置 仙台電波高専
2004.11 6インチ3元スパッタ装置 民間企業
2005.1 マルチチャンバースパッタ装置 民間企業
2005.3 3元スパッタ装置 JST/岩手大学
2005.8 3元スパッタ装置 民間企業
2006.3 マイクロ波プラズマCVD装置 東北大学/民間企業/JST
2007.2 ロボット搬送
マルチチャンバースパッタ装置
民間企業
2007.6 大型3元スパッタ装置 民間企業
2007.10 有機EL用蒸着装置 民間企業
2008.3 熱CVD装置 東北大学
2008.3 2元スパッタ装置 東北大学
2008.7 常圧CVD装置 民間企業
2009.1 3元RFスパッタ装置 仙台電波高専
2009.9 レーザーCVD装置 JFCC
2009.9 プラズマエッチャー 岩手大学
2009.9 スパッタ装置 東北大学
2011.1 DCリアクティブスパッタ装置 民間企業
2011.3 電子ビーム蒸着装置 仙台高専
2012.3 GB付蒸着装置 東北大学
2012.3 3元RFスパッタ装置 鶴岡工専
2012.10 静電噴霧成膜装置 JFCC
2013.3 RFスパッタ装置 鶴岡高専
2014.2 3元特殊スパッタ装置 民間企業
2014.3 2元スパッタ装置 東京高専
2015.1 5元スパッタ装置 電気磁気材料研究所



バルク材料作成装置
1998.11 実験用アーク炉 東北工業技術研究所
2000.3 急冷凝固装置 弘前大学
2001.3 アーク溶解型急冷試料作成装置 弘前大学
2001.12 高温・高圧単結晶育成炉 民間企業
2002.3 高温・高圧単結晶育成炉 東北大学
2002.4 水素雰囲気CZ炉 東北大学
2003.8 高温・高圧単結晶育成炉 民間企業
2003.9 急冷凝固装置 釜山大学
2003.9 ホットプレス 山形大学
2005.3 GaN種結晶育成装置 東北大学
2005.9 GaN引上装置 東北大学
2007.8 ゾーンメルト・クエンチ装置 東北大学
2008.3 高周波溶解炉 弘前大
2008.8 ハロゲン化物結晶育成検証機 東北大学
2008.12 銅ボール作製実験装置 民間企業
2009.3 単結晶育成炉 民間企業
2010.2 横一方向凝固装置 東北大学
2010.3 シリカ還元装置 弘前大
2010.9 急冷薄膜作成装置 民間企業
2010.9 パルスインジェクション粒子作製装置 民間企業
2010.11 アーク溶解炉 東北大学
2011.4 単結晶育成炉 民間企業
2011.8 FZ単結晶育成装置 仙台高専
2012.3 2ゾーンシリカ還元装置 弘前大学
2013.1 単結晶育成炉 民間企業
2013.2 高真空マイクロPD結晶育成装置 東北大学
2013.3 形状制御結晶育成装置 東北大学
2014.3 ハロゲン化物結晶育成装置 民間企業
2015.1 ハロゲン化物結晶育成装置 民間企業
2015.1 ハロゲン化物結晶育成装置 東北大学



電気炉
納入時期 納入装置名 納入先
1997.3 真空アニール炉 民間企業
1997.9 高周波誘導加熱真空炉 民間企業
1998.9 真空熱処理装置 民間企業
1998.11 高温物性試験用電気炉 東北大学
1998.11 急速加熱電気炉 東北大学
1999.3 超高温試験装置 航空宇宙技術研究所
2001.11 水素熱処理装置 民間企業
2001.12 真空熱処理炉 東北大学
2002.2 横型ガスフロー電気炉 東北大学
2003.9 環状電気炉 岩手大学
2004.4 水素雰囲気炉 東北大学
2004.8 ウエハ加熱装置 民間企業
2004.12 真空熱処理装置 民間企業
2005.1 クエンチ熱処理装置 東北大学
2005.12 急冷熱処理装置 民間企業
2006.2 急冷熱処理装置 民間企業
2008.2 縦型管状炉 東北大学
2008.3 フッ化物熱処理装置 民間企業
2008.9 水素焼鈍炉 東北大学
2009.2 連続焼鈍炉 民間企業
2009.3 箱型電気炉 東北大学
2009.5 高温ラマン分光用電気炉 東北大学
2009.9 無加圧焼結炉 東北大学
2010.1 クエンチ熱処理装置 東京工業大学
2010.2 高温圧縮試験装置 東北大学
2010.2 超高温雰囲気制御熱処理炉 東北大学
2011.12 小型特殊ガラス溶解炉 民間企業
2012.2 高真空熱処理炉 電磁材料研究所
2012.2 水素熱処理装置 東北大学
2012.3 超高温熱処理装置 東北大学
2012.3 クエンチ熱処理炉 仙台高専
2012.3 ウエハ高清浄熱処理炉 東北大学
2013.12 クエンチ熱処理装置 東北大学
2014.2 大型シリカ還元装置 東京大学
2014.3 特殊浸炭装置 民間企業
2014.3 管状炉 電気磁気材料研究所
2014.7 SMA熱処理炉 民間企業
2015.2 雰囲気熱処理炉 民間企業
2015.2 クエンチ熱処理装置 東京工業大学



摩擦試験機
納入時期 納入装置名 納入先
1998.3 超高真空摩擦試験機 岩手大学
1998.3 潤滑油せん断試験機 岩手大学
1998.12 トライボロジー特性評価装置 民間企業
2000.1 高荷重摩擦試験機 岩手大学
2000.1 高荷重摩擦試験機 民間企業
2001.3 潤滑試験装置 横浜国立大学
2001.9 紫外線分光摩擦試験機 民間企業
2001.12 摩擦試験機 民間企業
2002.3 DME摩擦試験機 産総研
2002.9 液体ヘリウム中摩擦試験機 岩手大学
2004.1 フレッティング試験機 民間企業
2006.12 小型摩擦試験機 岩手大学
2008.2 腐食磨耗試験機 岩手大学
2008.3 摺動試験機 民間企業
2009.5 真空中摩擦試験設備 民間企業
2012.9 摩擦試験機 民間企業
2013.1 潤滑試験機 岩手大学
2013.12 回転摺動摩擦試験機 東北大学
2013.9 雰囲気制御摩擦試験機 民間企業



真空装置・ガス分析装置
納入時期 納入装置名 納入先
1998.11 超高真空排気装置 民間企業
1998.1 微量ガス分析装置 民間企業
1999.9 ネオン管内圧測定装置 民間企業
2000.7 真空封止装置 民間企業
2000.12 真空封止装置 民間企業
2000.12 ガス圧測定装置 民間企業
2002.4 超高真空試料搬送システム 東北大学
2002.1 圧力制御システム NASDA/東北大学
2004.9 真空封止装置 民間企業
2004.7 簡易型ガス分析装置 民間企業
2004.12 ガス置換陽極接合装置 民間企業
2005.1 陽極接合装置 民間企業
2005.5 圧力制御システム 東北大学
2005.11 真空封止装置 民間企業
2013.2 RGA試験機 民間企業
2014.2 ガス分析装置 東京大学



低温装置・高圧装置
納入時期 納入装置名 納入先
1997.3 IR測定用高圧セル 岩手大学
2000.3 超臨界密度測定装置 東北工業技術研究所
2000.12 低温硬さ測定装置 岩手大学
2001.2 容積可変高圧容器 東北工業技術研究所
2003.9 コールドヘッドチャンバー 山形大学
2008.3 油圧自動昇圧装置 民間企業



計測装置・試験装置
納入時期 納入装置名 納入先
1997.11 印刷精度測定装置 民間企業
1998.1 モーター温度上昇試験装置 民間企業
1998.7 FDD耐久試験機 民間企業
1998.8 印刷精度測定装置 民間企業
1998.11 印刷精度測定装置 民間企業
1998.11 スラリーせん断試験装置 東北大学
1999.3 模擬ガス流動試験装置 民間企業
1999.5 抵抗自動測定装置 民間企業
1999.9 シンチレータ照射システム 民間企業
2000.3 高速燃焼流測定装置 東北大学
2000.3 インジェクションプレート測定装置 民間企業
2001.7 DWDM光学特性評価装置 民間企業
2001.8 端子圧着性能評価装置 民間企業
2001.12 微小熱電変換素子性能評価装置 東北大学
2001.12 微光検出システム 東北工業大学
2002.3 抵抗自動測定システム 民間企業
2002.5 透過率分布測定装置 民間企業
2002.8 スリット加工機 東北大学
2003.1 振動試験機 石巻専修大学
2003.2 溶融岩石観察装置 東北大学
2004.5 光学特性評価装置 民間企業
2005.2 高電界パルス印加装置 民間企業
2005.2 ナノプリント装置 東北大学
2005.3 ガラスビン平坦度測定器 民間企業
2008.6 真空印刷機 民間企業
2009.6 ガラスビン偏芯測定 民間企業
2009.9 熱衝撃試験装置 JFCC
2010.2 高温接触角測定装置 東北大学
2010.3 プローブ顕微鏡磁場印加 弘前大学
2010.8 岩石溶融X線観察装置 東北大学
2010.2 高温接触角測定装置 東北大学
2010.11 バルブ耐久試験機 民間企業
2012.7 バーナー試験機 東北大学
2013.7 凝固偏析試験装置 民間企業
2014.9 SP強度試験機 民間企業
2015.1 粉末抵抗測定装置 東北大学



自動機・プラント
納入時期 納入装置名 納入先
1997.3 微小粒子自動配列装置 東北大学
1997.8 採血管搬送システム 東京医科歯科大/病院
2000.3 微粒子マニピュレーション装置 東北大学
2000.9 単層ナノチューブ精製装置 東北大学
2000.9 ディスペンサ多相配列装置 東北大学
2003.1 木質バイオマスガス化システム 八戸工業大学
2003.3 三次元粒子配列装置 民間企業
2003.8 λ/2貼り付け装置 民間企業
2003.9 フッ酸洗浄用グローブボックス 東北大学
2004.11 λ/2貼り付け装置 民間企業
2005.8 PEG含浸装置 多賀城市
2012.7 三次元粒子配列装置 東北大学