微小形状評価

	製品名	電子顕微鏡（ＳＥＭ/ＴＥＭ）
	メーカー	日本電子
	説明文	微小物の形状観察、組成分析に用いられます。観察しながら同時分析も可能です。

	製品名	ナノ３D白色干渉測システム
	メーカー	日立ハイテク
	説明文	白色干渉を用いて非接触で表面形状・粗さ測定が可能です。

	製品名	走査型プローブ顕微鏡
	メーカー	日立ハイテク
	説明文	走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力顕微鏡(AFM)に代表される、微小な針で試料の形状をナノオーダーで観察する顕微鏡。

	製品名	レーザー顕微鏡
	メーカー	エビデント、レーザーテック
	説明文	光源にレーザーを使用し、光学顕微鏡よりも微小な形状、粗さの3次元測定が3可能です。