成膜装置

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成膜装置

製品名 スパッタ装置
メーカー キヤノンアネルバ・東栄科学産業
製品名 蒸着装置
メーカー サンユー電子・東栄科学産業
製品名 CVD装置
メーカー サムコ・オックスフォードインストゥルメンツ