真空コンポーネント（真空計・マスフィルタ・配管部品）

	製品名	四重極ガス分析装置・マスフィルタ
	メーカー	キヤノンアネルバ・堀場製作所

	製品名	真空計
	メーカー	キヤノンアネルバ・ファイファー

	製品名	マスフローコントローラ―
	メーカー	日立金属・堀場エステック

	製品名	バルブ・配管部品
	メーカー	ミラプロ・エアーテック