真空ポンプ

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真空ポンプ

製品名 ターボ分子ポンプ
メーカー 大阪真空機器製作所・ファイファー
製品名 クライオポンプ
メーカー キヤノンアネルバ
製品名 ドライポンプ・ロータリーポンプ
メーカー エドワーズ・樫山工業